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美國honeywell氣體質量流量傳感器

美國honeywell氣體質量流量傳感器

簡要描述:美國honeywell氣體質量流量傳感器概述
AWM40000系列氣體質量流量傳感器,放大,流量/壓力范圍:+ 1000 SCCM;接口類型:岐管。
AWM40000系列氣流傳感器基于成熟的微橋技術,包括未放大的僅傳感器設備和放大的信號調節(jié)設備。
微橋氣體質量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質量流量經引導流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進出口的空氣或其他氣體質量成正比。

產品型號:AWM43300V

所屬分類:honeywell傳感器

更新時間:2024-05-13

詳情介紹

美國honeywell氣體質量流量傳感器產品描述:

該傳感器具有基于*微結構技術的*硅芯片。它由一個薄膜,熱隔離的橋式結構組成,該結構包含加熱器和溫度感應元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件雙面的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。

專門設計的外殼可精地引導和控制穿過微結構傳感元件的氣流。封裝的機械設計能夠輕松地將其安裝在印刷電路板上。

激光微調的厚膜和薄膜電阻器可在一臺設備與另一臺設備之間提供一致的互換性。這些電阻呈現懸浮狀態(tài),在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。微橋氣體質量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。

通過蝕刻流量傳感器橋下的空腔空間,可實現加熱器和感應電阻的高效,熱隔離。

雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環(huán)加熱器控制,另一個包含雙重傳感元件。

加熱器電路將加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差(160°C)的恒定差(160°C)處,該溫度由熱量感測到。芯片上的沉電阻。裝置的輸出與電源電壓成比例,也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。

未放大的版本需要加熱器控制電路和感測電橋供電電路才能按照規(guī)范進行操作。差分放大器電路在提供輸出增益和/或向傳感器輸出引入電壓偏移時可能會很有用。放大版本的板上電路可用于增加輸出增益并引入電壓偏移。(有關更多電路信息,請參見產品數據表和安裝說明。)

美國honeywell氣體質量流量傳感器技術規(guī)格:

系列名稱AWM40000
流量/壓力范圍+ 1000 SCCM
整個溫度范圍內的零位大±0.025 Vdc
可重復性大讀數的±0.50%
響應時間典型值1 ms,短期3 ms
接口類型岐管
實力大60兆瓦
補償溫度范圍不適用
介質兼容性僅干燥氣體
沖擊100 g前端(5次下降,6軸)
備注氮校準氣體
UNSPSC商品41111931流量傳感器
信號調節(jié)放大
調整點的輸出電壓1000 SCCM時5 Vdc±0.15 Vdc
輸出溫漂-5.0%大讀數 至+ 6.0%讀數大值
零位1伏直流電±0.05伏直流電
電源電壓小8.000 Vdc,大15.000 Vdc
共模壓力150磅/平方英寸
工作溫度-25°C至85°C [-13°F至185°F]
儲存溫度-40°C至90°C [-40°F至194°F]
重量17.5克[0.62盎司]
貨源
UNSPSC代碼41111931

honeywell傳感器產品特色

  • 精密硅微機械加工

  • 對0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感

  • 適用于較高流量

  • 低功耗允許用于便攜式設備和電池供電的應用

  • 模擬輸出

  • 標準的2.54毫米[0.10英寸]安裝中心

  • 激光修正達到可互換性

  • 準確檢測低壓

AWM43300V傳感器應用領域:

  • 加熱,通風和空調系統(tǒng)的風門控制

  • 氣體分析儀

  • 低真空控制

  • 過程控制

  • 醫(yī)用H吸機和肺活量儀

  • 制氧機

  • 泄漏檢測儀

  • 通氣罩

  • 麻醉控制

  • 氣體計量

  • 氣相色譜儀

美國honeywell氣體質量流量傳感器

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